美院士張懋中:搞科學要有"雖千萬人吾往矣"的魄力

　　2018-09-11 17:37:25　來源: 網易科技報道

　　

　　網易科技訊9月11日消息，近期2018年未來科學大獎獲獎人名單公布，美國俄亥俄州立大學電機工程博士林本堅榮膺「數學與計算機科學獎」。台灣新竹交通大學校長，美國工程院院士，中央研究院院士，未來科學大獎科學委員會委員張懋中教授在接受記者採訪時表示，林本堅博士獨享獎金100萬美元的原因在於他的一系列突破性的創新所開拓的浸潤式微影方法，為建造最強大的計算和通信系統做出了關鍵貢獻。

　　張懋中教授談到，現在是集成電路發明后的第60年，在這一個甲子的時間裡，半導體工業的革命程度是很難想象的。傳統的「乾式」微影自1959年半導體工業界發明平面積成電路以來被持續使用了四十年，但在20年前的時候受限於基本光學衍射，用該方法製造特徵尺寸小於65納米的晶元面臨無法逾越的瓶頸。這個時候林本堅博士倡導建議了一個新的做法，就是開拓浸潤式微影系統方法，他的突破性發明和持久的技術引領促使全球半導體工業界改用「濕式」微影方法。

　　「當時他這種行為等於是站在整個產業的面前，全世界都往這個方向前進，但他一個人站在這艘航空母艦前面喊了停，說你們錯了，這個航向一定要改了，不改搞不下去了。他一個人堅實的站在物理學、光學工藝上透徹的解釋走條什麼路才能讓整個工業繼續前進，最後事實證明了他是正確的。」張懋中說道。

　　張懋中直言這件事也讓他自省了自己：「林本堅博士最喜歡講的一句話，『雖千萬人吾往矣』，就是有千萬人站在我面前，我覺得我是對的，我就要堅持我的看法。做科學有時候走了一條冷僻的路，我們不要隨便決定一個事情，但如果這個事情你反覆驗證還是正確的，就要「自反而縮，雖千萬人吾往矣。」